逐绿“芯”时代:“氟芯高照”以底层逻辑守护电子特气产业生态
来源:中国教育晚报 作者:嘉锰 发布时间:2026-06-05
(通讯员:刘宇涵)在半导体制造这一现代工业的皇冠上,被誉为芯片“血液”的电子特气长期面临着自主化与绿色转型的双重挑战。来自西北工业大学玛丽女王工程大学学院的“氟芯高照”团队,正试图从底层技术逻辑上改变这一现状。

他们摒弃了传统三氟化氮合成依赖高温高压、伴随高污染的固有路径,通过自主研发的“常温常压电催化一步法”,在温和的环境下实现了核心气体的低碳高效合成,为半导体关键原材料的制备开辟了全新的绿色通道。
团队顺应现代晶圆厂对柔性生产的需求,首创了模块化成套装备,让高兼容、可复制的生产线能够像拼积木一样快速落地,大幅降低了企业的建厂周期与初期固定资产投入。
与此同时,他们将触角延伸至商业模式的深水区,推行“卖设备与供高纯气”的双轮驱动策略,并配套推出“气体与回收再生全周期服务”,通过打造从生产到回收的闭环生态,帮助下游企业精准降本。
这群青年科研人正用清晰的产业蓝图打破行业壁垒,以技术与模式的双重革新重塑电子特气的全球供给体系。








